下半月件
SiC外延设备零部件
| 产品介绍及用途： | 连接石英管，可通入气体带动托盘基座旋转，可控温 |
| 产品所处设备位置： | 反应腔内，非直接接触晶圆 |
| 主要下游产品： | 功率器件 |
| 主要终端市场： | 新能源汽车 |
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| 产品介绍及用途： | 连接石英管，可通入气体带动托盘基座旋转，可控温 |
| 产品所处设备位置： | 反应腔内，非直接接触晶圆 |
| 主要下游产品： | 功率器件 |
| 主要终端市场： | 新能源汽车 |
