6吋托盘
SiC外延设备零部件
| 产品介绍及用途： | 放置SiC衬底，用于生长SiC外延片 |
| 产品所处设备位置： | 反应腔内，直接接触晶圆 |
| 主要下游产品： | 功率器件 |
| 主要终端市场： | 新能源汽车 |
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| 产品介绍及用途： | 放置SiC衬底，用于生长SiC外延片 |
| 产品所处设备位置： | 反应腔内，直接接触晶圆 |
| 主要下游产品： | 功率器件 |
| 主要终端市场： | 新能源汽车 |
