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SiC外延设备零部件
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产品介绍及用途:
SiC外延设备反应腔其他配件的载具,可控温
产品所处设备位置:
反应腔内,非直接接触晶圆
主要下游产品:
功率器件
主要终端市场:
新能源汽车
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