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单片式-预热环

Si外延设备零部件

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产品介绍及用途: 处于Si外延衬底托盘外圈,用于校基准、加热
产品所处设备位置: 反应腔内,非直接接触晶圆
主要下游产品: 集成电路
主要终端市场: 消费电子

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