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6吋托盘

SiC外延设备零部件

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产品介绍及用途: 放置SiC衬底,用于生长SiC外延片
产品所处设备位置: 反应腔内,直接接触晶圆
主要下游产品: 功率器件
主要终端市场: 新能源汽车

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