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6吋托盘

SiC外延设备零部件

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产品介绍及用途：	放置SiC衬底，用于生长SiC外延片
产品所处设备位置：	反应腔内，直接接触晶圆
主要下游产品：	功率器件
主要终端市场：	新能源汽车

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