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19片2吋石墨基座
MOCVD设备零部件
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产品介绍及用途:
放置19片2吋衬底,用于生长深紫外LED的外延片
产品所处设备位置:
反应腔内,直接接触晶圆
主要下游产品:
LED芯片
主要终端市场:
LED
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41片4吋石墨基座
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