高端精密化的产品
MOCVD用石墨盘，使用时高达1200转/秒的旋转，处于1100°C以上高温和腐蚀性气体氛围，对涂层均匀性、翘曲度、颗粒度等提出极高的要求，属于高端精密产品。
定制服务
解决了LED客户关心的波长命中率、石墨盘寿命等问题，SiC客户关心掺杂均匀性等问题，IC客户关心的均匀性、滑片和滑移线等问题。
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