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单片式-8吋托盘
Si外延设备零部件
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产品介绍及用途:
放置Si衬底,用于生长Si外延片
产品所处设备位置:
反应腔内,直接接触晶圆
主要下游产品:
集成电路
主要终端市场:
消费电子
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