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SiC外延设备零部件

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产品介绍及用途：	SiC外延设备反应腔其他配件的载具，可控温
产品所处设备位置：	反应腔内，非直接接触晶圆
主要下游产品：	功率器件
主要终端市场：	新能源汽车

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