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36片4吋石墨基座

MOCVD设备零部件

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产品介绍及用途: 放置36片4吋衬底,用于生长LED用蓝绿光外延片
产品所处设备位置: 反应腔内,直接接触晶圆
主要下游产品: LED芯片
主要终端市场: LED

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