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19片2吋石墨基座

MOCVD设备零部件

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产品介绍及用途：	放置19片2吋衬底，用于生长深紫外LED的外延片
产品所处设备位置：	反应腔内，直接接触晶圆
主要下游产品：	LED芯片
主要终端市场：	LED

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